Nano process group Nano technology ナノテクノロジーとは寸法がnm(10億分の1メートル)である「モノ」を扱う技術である。それは電子・光子、原子・分子といった「モノ」の本質にせまる自由な技術フィールドと捉えることができる。現在、ナノテクノロジーに従事している研究者のバックグラウンドは物理・半導体・化学・生物・医学など多岐にわたる。これこそがナノテクノロジーの強みであり、技術の学際的な融合によるイノベーションが期待されている。 Semiconductor process technology 今日のナノテクノロジーへの展開を語る上で外すことのできない重要な技術が半導体プロセスである。半導体微細加工技術は、回路素子（トランジスタ、MOSFETなど）の微細化、すなわちCPUやメモリに代表される電子機器の高速化、高集積化、高機能化を実現した。今日、その加工精度はnmオーダーであり、自由自在にナノ構造を作製することが可能となっている。 Nano process group 我々ナノプロセスグループは半導体プロセスを背景としてナノテクノロジーの研究を行っている。メンバーの専門分野は電気・通信・機械であり、生物系、化学系の研究室との共同研究を推進している。所望のナノ構造体や電子デバイスを作製するシリコン微細加工技術に加え、生体分子（DNA、たんぱく質）、高分子、機能性有機分子などを取り扱う技術を有している。 Position of nano process group in our lab. トップダウンプロセスとボトムアッププロセスの融合により、ナノテクノロジーを基盤にした産業創生を模索している。トップダウンプロセスは従来の微細加工技術、ボトムアッププロセスは湿式一括処理や自己組織化といった手法に代表される。前者は制御性が高いもののコストが高く、後者は簡便であるが制御性が悪いといった特徴を有する。そこで両者の特長を併せ持つ革新的技術を探求し、プロトタイプの展示などにより社会に発信している。 Skill and knowledge of nano process group □ 半導体加工技術（ナノ構造の作製） 　　・電子線リソグラフィ、フォトリソグラフィ 　　・イオン注入 　　・ドライエッチング、ウェットエッチング 　　・金属堆積（スパッタ、電子線蒸着、加熱蒸着、CVD） 　　・熱処理／熱酸化 　　・洗浄技術 □ 計測技術（ナノ構造の観察） 　　・電子顕微鏡 　　・走査型プローブ顕微鏡 　　・エリプソメトリー 　　・触針式表面形状測定器 　　・XPS □ 電子回路作製（電気特性評価における測定系の構築） □ 電磁気シミュレーション（電界レンズの作製） □ 生化学（DNA、タンパク質の取り扱い） □ 電気化学（電気化学反応の制御） Theme Fieled Emission Group ・シリコンナノピラミッドを用いた微小電子源配列の作製 Bio Group ・自己組織化単分子膜をレジストとした電子線描画 ・自己組織化単分子膜を用いたDNAの配列固定 ・自己組織化単分子膜を用いたたんぱく質の配列固定 ・次世代一分子イメージング法の開発 Coming Soon!! Copyright © 2005 Ohdomari Laboratory. All Rights Reserved.