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大泊 巌
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早稲田大学理工学部教授
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工学博士
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生年月日
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1941年2月22日
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専門分野
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半導体デバイスの表面・界面特性
単一イオン照射効果とその応用
分子ナノ工学
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担当科目
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固体の化学結合論、電子デバイス
総合ナノ理工学特論
ナノテクノロジー概論
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趣味
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コーラス、日曜大工
料理（カレー、自ビール、燻製...）
特にカレーは自称プロ級
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学歴・職歴
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1965年3月
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早稲田大学理工学部電気通信学科卒業
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1967年3月
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早稲田大学大学院理工学研究科修士課程修了
日立製作所中央研究所勤務
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1972年3月
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早稲田大学大学院理工学研究科博士課程修了
工学博士
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1972年4月-1974年3月
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専任講師
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1974年4月-1979年3月
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助教授
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1977年7月-1978年10月
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米国IBM T.J. Watson 研究センター客員研究員
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1979年4月-現在
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教授 電子材料工学専攻
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1987年4月-1987年9月
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オランダFOM-AMOLF 研究所客員教授
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1992年4月-1993年3月
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東北大学講師（電気通信研究所）
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1993年4月-1994年3月
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北海道大学客員教授
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1996年9月-1998年9月
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早稲田大学各務記念材料技術研究所所長
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2002年6月-2003年12月
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早稲田大学ナノテクノロジー研究所所長
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2003年12月-現在
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早稲田大学ナノ理工学研究機構機構長
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学外の主な役職
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・文部科学省 教科用図書検定調査審議会委員
・文部科学省 科学技術・学術審議会(研究計画・評価分科会)ナノテクノロジー・材料委員会委員
・日本学術振興会 科学研究費委員会委員
・科学技術振興事業団 新技術審議会委員
・新エネルギー・産業技術総合開発機構 NEDO技術委員 他
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科学研究費獲得等
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1989年度 - 1991年度
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文部省科学研究費補助金重点領域研究「金属-半導体界面」
（研究代表者平木昭夫）班長
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1993年度 - 1996年度
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文部省科学研究費補助金特別推進研究
「シングルイオン注入法の実現と固体物性制御への応用」研究代表者
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1996年度 - 2000年度
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学振未来開拓特別推進事業「量子ドットのウエハナノスケール形成プロセス」
（研究代表者大坂敏明）コアメンバー
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2001年度 - 現在
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文部科学省科学研究費補助金COE形成基礎研究
「ナノ構造配列を基盤とする分子ナノ工学の構築とマイクロシステムへの展開」
研究代表者
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2004年度 - 現在
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文部科学省科学振興調整費スーパーCOEプログラム
「先端科学と健康医療の融合拠点の形成」（代表白井克彦）
副機構長（スーパーオープンラボ担当）
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著書
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・大泊巌 編著「トコトンやさしいナノテクノロジーの本」日刊工業新聞社 (2002年3月)
・大泊巌（編集委員および執筆）「ナノテクノロジー大事典」工業調査会（2003年12月）
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研究歴
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1965 - 1967年
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ショットキーゲート電界効果トランジスタの研究
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1967 - 1968年
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バイポーラトランジスタのベース抵抗の解析
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1968 - 1972年
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半導体へのイオン注入現象、特にシリコン中のAlの増速拡散に
関する研究
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1972 - 1977年
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イオン注入によって形成された非晶質シリコンの固相成長の原子
的素過程の研究
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1977 - 1978年
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米国IBMワトソン研究センター客員研究員として、金属シリサイ
ド／シリコン界面の
ショットキー障壁の研究に従事
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1978 - 1987年
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金属シリサイド／シリコン界面、二酸化シリコン /シリコン界面、非晶質
シリコン／結
晶シリコン界面など、固体界面の物性を、高分解能
透過 電子顕微鏡、界面原子配
列のモデリング、放射化分析などの
手法により研究
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1987年4 - 9月
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オランダ国FOM-AMOLF研究所において、客員教授として中速イ
オン散乱分光装
置による固体表面および界面の研究に従事
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1987 - 1991年
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イオン散乱分光装置のマイクロビーム化の研究に従事し、イオン
マイクロプローブを
完成させる
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1991 - 1992年
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イオンマイクロプローブからイオンを１個ずつ抽出するシングル
イオンマイクロプロー
ブ実現の研究に従事し、世界初の装置を完
成させ、超LSIの微小部位毎の放射性
耐性を調べることに成功
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1992 - 1993年
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同じ頃、Si(111)-1×1⇔7×7構造相転移の研究に着手し、研究
手段として、10-13 Torr台に達する極高真空表面分析装置を完
成させる
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1993年 - 現在
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シングルイオンマイクロプローブの発展形として、ナノスケール
改質用のシングルイオン注入法を提案し、所期の機能を実現。シリコン表面構造相転移における過渡的な原子挙動の研究を
進め、自己組織化の原子的素過程の観察に成功
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